安徽华气气体申请单晶硅制备中无氢氩气回收装置专利，解决压缩除油相关问题
2025-11-3083
金融界2024年10月19日消息，国家知识产权局信息显示，安徽华气气体科技有限公司申请一项名为“一种单晶硅制备中无氢氩气的回收装置”的专利，公开号CN118750997A，申请日期为2024年6月。
专利摘要显示，本发明公开一种单晶硅制备中无氢氩气的回收装置，包括压缩除油机构、燃烧吸附机构以及低温精馏机构，压缩除油机构包括一侧具有进气管且另一侧具有出气管的罐体、安装在罐体上且工作时对罐体内部的气体进行压缩的压缩组件、位于罐体内且工作时对罐体内壁进行刮污的刮污组件以及安装在罐体上且与刮污组件传动连接的通断组件；燃烧吸附机构输入端与出气管连通，燃烧吸附机构工作时对通入的气体进行燃烧且输出端对燃烧反应后产生的二氧化碳和水进行吸附；低温精馏机构与燃烧吸附机构的输出端连通，且工作时对通入的气体进行低温精馏，解决了需要通入高危气体且压缩除油时产生的油污无法及时被清理的问题。
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